Mõistel "puhastamine" on hiina keeles pikk ajalugu, mis algselt tähendab "puhtaks ja puhtaks muutmist" ning võib laias laastus viidata kõikidele lisandite eemaldamise ja saaste kõrvaldamise protsessidele ja tehnoloogiatele. Vastavad ingliskeelsed terminid hõlmavad "puhastust" (puhtuse rõhutamine) ja "puhast" (puhtuse rõhutamist). Seetõttu hõlmab ingliskeelne väljend puhasruumitehnoloogia kohta muu hulgas "Puhastustehnika", "Clean Engineering" või "Cleanroom Technology". See lai tähendus määrab, et puhaste ruumide inseneril on erinevates distsipliinides selge tähendus.
Kaasaegne puhaste ruumide tehnika, mille keskmes on puhaste ruumide tehnoloogia, sai alguse 1950. aastatel. Korea sõja ajal avastasid USA sõjaväelased, et paljud elektroonilised instrumendid ei tööta sageli tolmu sissetungimise tõttu, mis ajendas õhupuhastustehnoloogia väljatöötamist, eriti kõrge -tõhusate osakeste õhufiltrite (HEPA) uurimist ja rakendamist. 1961. aastal pakkus Willis Whitfield Sandia National Laboratoriesist välja "laminaarse voolu" (praegu ametlikult "ühesuunaline vool") puhta õhuvoolu korraldamise skeemi, mis võimaldab puhastes ruumides saavutada enneolematu puhtuse taseme. Samal aastal andsid USA õhujõud välja maailma esimese puhaste ruumide standardi ja 1963. aastal avaldati USA föderaalne standard FED{11}}STD-209, mis tähistas puhaste ruumide tehnoloogiasüsteemi esialgset kujunemist. Edaspidi on selliste tööstusharude nagu integraallülitused ja biomeditsiin kiire arenguga puhaste ruumide inseneritehnoloogia pidevalt uuenenud ja arenenud.
Hiinas kuulutati 1984. aastal välja "Puhaste ruumide disainikoodeks" (GBJ 73-84) ja 1990. aastal kuulutati välja "Puhaste ruumide ehitamise ja vastuvõtmise koodeks" (JGJ 71-90). Pärast mitut muudatust on selle põhiruumi disainikoodeks "C" moodustatud GB 50073-2013 siseriiklik standardisüsteem. Rahvusvaheliselt on ISO/TC209 tehnilise komitee koostatud standardite seeria ISO 14644 puhaste ruumide ja nendega seotud kontrollitud keskkondade ühised juhised. minu riik on need standardid vastu võtnud ja rakendanud GB/T 25915 seeriana.